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著作人:Admin        公布日期:10/07/08

一.序
LCD表现屏之用处以电脑、手提德律风以致在电视上的需求也正在连忙的增长。
各LCD表现屏厂商为添加产量简化消费工序、减低本钱等,正在不时地高兴,在a-siTFT之表现屏中,为添加产量特殊把母玻璃尺寸增大之事件作出测试。
示图1 母玻璃尺寸在2001年第5期时(1200mm*1200mm级)、2002~2003年时第5+期(1100mm*1250mm级)及6期(1250mm*1650mm级)等尺寸的消费予预测速率。
图1 母玻璃尺寸
母玻璃尺寸之推移
HC-4意像图

此论文、目标是引见在开辟进程中,研讨出对大型LCD基板次要之洗净技能效果。

二.洗濯SEAL
关于洗濯玻璃基板时,次要洗濯辨别以微粒子净化、无机物、金属物去微粒子的SEAL,与有关尼龙毛刷加以阐明。
1)随着玻璃基板之大型化,以刷辊洗濯方法停止时,打仗面增大时磨擦力也随之添加的状况下,运送时呈现有不安宁及洗净结果不均等状况。
 

2)按此题目盘算,刷毛之直径从原本的0.07mm改为0.05mm。添加植毛密度(3倍)后刷毛的测试参数如下图2:
图2 刷毛之按着力气及摩擦力

接着力添加时,刷毛直径0.07玻璃基板外表之摩擦力比例引对地添加。当刷毛直径0.05mm时所发生之摩擦力肯定会比前者少。
在玻璃基板运送时之影响也有肯定之改进。
以2种差别直径毛刷之洗净评价后果如下图3。而毛刷直径0.07mm的洗净功能与毛刷之转动数有绝对干系,0.05mm毛刷因此较阔范畴的转动,使它有洗净的平安性。这个也与植毛之密度高的结果下有间接干系。
图3 残留粒子的评价

三.枯燥seal
湿洗濯处置后之玻璃基板,需枯燥处置,而普通多以接纳spin枯燥方法或气刀方法。
玻璃基板尺寸之大型化下与TACT TIME化的停止中

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